核心功能與目的：

防止介質(zhì)倒流：這是最主要的功能。當(dāng)真空泵停止工作、系統(tǒng)部分隔離或下游壓力意外升高（高于上游真空側(cè)壓力）時(shí)，止回閥會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，阻止氣體、液體、或顆粒物從壓力較高的一側(cè)倒流回需要保持真空的一側(cè)。

保護(hù)真空泵：防止泵停止時(shí)，被抽介質(zhì)（尤其是可能含有腐蝕性、顆?；蛴托缘慕橘|(zhì)）倒灌回泵內(nèi)，造成泵的污染、腐蝕或破壞。

維持真空度：在泵停止或部分管路隔離時(shí)，阻止空氣或工藝氣體回流，有助于維持特定區(qū)域或整個(gè)系統(tǒng)的真空度，減少重新抽真空的時(shí)間和能耗。

隔離子系統(tǒng)：允許在不破壞主系統(tǒng)真空的情況下，隔離和操作系統(tǒng)的某個(gè)分支或腔室（例如，進(jìn)行裝料、取樣）

防止污染：阻止污染物從壓力較高的區(qū)域（如大氣環(huán)境或某個(gè)工藝腔室）回流到清潔的真空環(huán)境中。

工作原理：

基于壓差驅(qū)動(dòng)。閥門內(nèi)部通常有一個(gè)活動(dòng)部件（如閥瓣、閥球、隔膜或提升閥芯）

正向流動(dòng)（開啟）：當(dāng)閥門入口（上游，真空側(cè)）的壓力低于出口（下游）壓力，且壓差足以客服活動(dòng)部件的重力、彈簧力（如果設(shè)計(jì)有彈簧）或摩擦力時(shí)，活動(dòng)部件被推開，形成通道，允許介質(zhì)從入口流向出口。

反向流動(dòng)或壓差消失（關(guān)閉）：當(dāng)下游壓力升高至等于或高于上游壓力（或泵停止導(dǎo)致壓差消失）時(shí)，活動(dòng)部件在重力、彈簧力或反向壓差的作用下，迅速、自動(dòng)地回落到閥座上，形成密封，阻止介質(zhì)倒流。

密封性：真空環(huán)境對(duì)密封性要求極高（極低的泄漏率）。閥座和活動(dòng)部件的密封面需要精密加工，并常采用彈性密封圈（如氟橡膠、全氟醚橡膠、金屬密封）來(lái)實(shí)現(xiàn)可靠的真空密封。